方程在办公室里收拾了一下,正待下楼去工作间,却接到了宁松的电话。
"方子,快过来救场啊!"宁松在手机里低声道。
"怎么了?失火了?"方程站在电梯门口问道。
宁松低声道:"昨天,这些光电所的专家们还只是参观一下。今天来了之后,问了我们工程师好几个问题。
我也不知道回答的怎么样,只是看对方的脸色,估摸着这是对咱们有些轻视啊。"
方程进了电梯,继续说道:"轻视就轻视吧,咱们有必要跟他们争论这个吗?做好咱们自己的事情就行了。"
宁松却道:"他们轻视咱们倒是无所谓。可等咱们再发布什么新技术之类的,难免他们会在背后提质疑或者说些怪腔调啊!
方子,人言可畏啊!"
方程出了电梯,边走边说道:"行,那你带他们上3号会议室吧。我过会儿就过去。"
宁松挂了电话后,转了个弯,然后快步走了过去。
"各位,我们方总,请大家去会议室去坐坐,顺便详细的解答一下大家的疑问。
请大家跟我到这边来。"
…
方程来到3号会议室时,会议室里却是一片安静。
宁松见方程进来,连忙介绍道:"这位就是我们公司的技术总裁方程,方总!"
会议室里的人只是纷纷看过来,既没有掌声,也没有窃窃私语声。
方程笑着跟大家点头示意了一下,正待坐下,这时有人说话了。
"方总,前段时间你说你们研究出激光辅助放电等离子技术,成功获取了13.5纳米波长的激光。
我现在有几个问题想问你。你们是怎样…"
方程看了对方一眼,没有回答。而是问道:"你是哪家光电所的?"
那人明显一顿,然后道:"我是江源光电所的。"
方程环视了会议室一圈,说道:"大家来参观交流,我和公司全体同仁是欢迎的。
技术研究嘛,不是闭门造车。只有经常进行一些技术交流和分享,才能更好更快地推动技术的发展和进步。"
说到这里,他顿了顿,继续说道:"可做为客人,对主人起码应该有些最起码的尊重吧?
你们可以不认可我们的技术路径,但不能因此就认为我们的技术不行。
我们的技术你真的懂吗?
懂,你们也早就弄出来了。
不懂,那就应该抱着谦虚请教的心,而不是在主家横挑鼻子竖挑眼!"
方程的一席话,让会场的人都有些如坐针毡,很不自然。
他们做为行业中的翘楚,走到哪里那都是被人捧着哄着,什么时候被人这样批评过?
可他们也是有气撒不出。因为方程说的也是事实。他们自己扪心自问,自己确实有些喧宾夺主了。
方程没在这个问题上继续说一下,而是道:"我将大体的思路跟大家说一下,然后我们再一起讨论。
现在西方光刻机光源主要应用的激光等离子体技术,这个我就不多说了。主要讲讲放电等离子体技术。"
方程坐在那里开始了他的介绍。
放电等离子体技术,其实就是通过快脉冲大电流对介质放电,然后形成高温高密度等离子体,从而实现极紫外辐射光自发辐射输出。
而根据放电方式的不同,放电等离子体技术又分为等离子体焦点技术中空阴极管放电技术毛细管放电等离子体技术激光辅助放电等离子体技术。
激光辅助放电等离子体机制极紫外光刻光源,用锡做为工作介质,用纳秒激光与锡相互作用在正负电极之间产生锡的初始等离子体,形成放电通道…
方程大概讲了一遍后,继续道:"国外在几年前也有过此类的研究,相信大家也有耳闻。
虽然放电等离子体技术有诸多优点,比如光源结构简单,投资运营成本低,适合大规模工业应用等。但它的缺点同样很多。
比如说,碎屑控制重复频率放电条件下光源稳定性增大光源输出角等问题。"
在座的众人纷纷点头。这也是他们过来参观方程式有限公司的主要原因。
"我们公司根据其缺点,逐一进行了解决!"
此言一出,会议室内顿时一片倒吸冷气声!
如果真如方程所说,这些问题都解决的话,那可以说,国外那所谓的封锁,在以后就只是个笑话而已。
毕竟相比阿麦斯的光刻机来说,其光源上面临的困难也是很多的。
他们之所以放弃激光辅助放电等离子体技术,就是因为这些难题一直得不到解决。
大家连忙屏气凝神,静待方程的讲解。
"先来说一下关于碎屑的控制问题。大家都知道碎屑的产生是因为激光轰击锡物料所产生的。
这种碎屑一旦沉积在反射镜表面,就会影响到极紫外光的输出功率,从而影响光刻效率,降低光刻机的使用寿命。
有研究机构提出,可以利用加磁场来降低离子动能。但这只对带电离子有效。
也有提出充加缓冲气体,来增加原子和离子的阻力。效果有吗?有,可是不大。"
众人听了纷纷点头。
"我们另辟蹊径,采用了一种全新的技术理论,浮游离子吸附加力引导!
通过这种技术,可以有效地降低碎屑的单位密度,从而做到对碎屑有效控制。"
方程说完,继续道:"我们再来讲一下关于重复频率的问题…"
"等等。"一名老者举手示意道:"方总,你能不能将这个浮游离子吸附加力引导,详细地讲一下?"
方程看了看大家希翼的神情,无奈地说道:"大家的想法我知道。可是这是我们公司的机密技术,在这里实在不方便过多透露。"
有人马上问道:"方总,你的意思是说这项技术你们没有申请专利吗?"
方程点了点头道:"没有。大家都知道申请专利,是需要将技术完全展示的。
在我们还不具备制作出完整光刻机以前,这项技术我们是不会申请专利的。
希望大家能够理解。"
方程向大家表达了一下歉意后,继续讲起了后面的各种问题。