三人来到张江开发区，走进smee研发大楼，来到一间硕大的车间。

　　好家伙。

　　偌大车间，一台巨大的设备占据了大部分空间。

　　看着线路及零部件密集程度，令人头皮发麻。

　　“老板，这就是我们研发的duvarfi光刻机，不出意外，应该是目前国内最高水准。”何融明用略带骄傲的口吻介绍道：

　　“从双工作台光源系统曝光系统到物镜系统光栅系统……任何一个零部件都是国产自主。”

　　换作八年前，何融明想都不敢想。

　　这就是资本得当的魔力。

　　“即便只是duv光刻机，也是全球唯一一个能独立制造的国家。”梁青松说。

　　他的神情与有荣焉。

　　“售价准备多少？”常乐问。

　　“我们计划3000万美元一台。”何融明说。

　　嗯，asml的duv光刻机型号不同，价格不同。

　　duv价格区间为2000万欧元至6500欧元。

　　其中，与国产duv相类似的，售价为6500万美元。

　　“这是很有竞争力的价格。”常乐点头。

　　“对，因为全线国产自主，我们的成本可以压到很低。”何融明说。

　　片刻后，车间内来了很多人。

　　这些人都是零部件企业和科研机构负责人。

　　何融明一一向常乐介绍。

　　常乐一一和这些人握手。

　　这些企业中，有华卓精科，他们提供双工件台；

　　有科益虹源，他们提供光源；

　　有国科精密，提供曝光系统；

　　有启尔机电，提供浸没系统；

　　有国望光学，提供物镜；

　　有沪光所，提供光栅系统；

　　还有南大光电，他们提供光刻胶；

　　华特气体提供光刻气体；

　　华润膜提供光掩膜板；

　　东方晶源提供缺陷检测系统；

　　以及，芯源微提供涂胶显影。

　　正是这些企业的大力研发，才能确保成功研发duv浸没式光刻机。

　　smee和asml一样，都是系统组合商。

　　核心技术聚焦设备组合，而不是设备研发。

　　介绍完且相互认识之后，众人一同来到会议室。

　　依次坐定，常乐说：

　　“首先，要感谢各位八年来的不懈努力和辛勤付出。”

　　“因为你们的砥砺奋进守望相助，国产光刻机才能在如此短的时间内，实现krf光刻到arfi光刻的三级跳，取得了历史性突破。”

　　“但是，现在还不是我们庆功的时候。”

　　“新的挑战就在眼前，站在技术迭代的关键十字路口，下一步我们该怎么走，还需要再确定再出发。”

　　掌声！

　　常乐说完这几句话，问何融明：“何总，目前asml那边euv光刻机什么进展？”

　　“据我们所知，应该已经完成原型机研发，但离真正上市商用，还需要时间，具体时间不确定。”何融明说。

　　“那这么说，我们和asml的差距不大了？”常乐继续问。

　　“嗯……单单产品方面看，差距确实不大，甚至我们还更有优势。”何融明解释道：

　　“但是从技术和产品积累看，我们要走的路还有很长。”

　　“因为他们研发euv，走了22年，必然遇到我们想都想不到的问题。这些问题，接下来我们都会遇到。”

　　“嗯。”常乐点头，继续问：“何总，从duv跨越到euv难点在哪里？”

　　“难点很多，光源物镜工作台等等都是非常关键的环节点。”何融明说：

　　“老板，要不这样，让在座的企业负责人介绍一下？术业有专攻，他们更专业，也更容易解释清楚。”

　　“行。”常乐点头。

　　于是，启尔电机负责人先发言：

　　“常总，何总，我先说说吧。”

　　“好。”

　　“首先感谢常总何总这些年，对启尔电机的关心和支持，没有smee的资金支持和帮助，启尔电机不可能走到上市前夜。”

　　“什么时候上市？”常乐问。

　　“12月。”

　　“那我们之前买的那些股票要值钱了。”

　　“哈哈……”

　　短暂笑过，启尔电机负责人开始正式介绍情况：

　　“启尔电机主要为duvarfi光刻提供浸没系统。”

　　“通过浸没系统和光的折线效应，实现了193纳米到134纳米的等效波长，arf光刻推进到arfi光刻才成为可能。”

　　浸没系统，就是将镜片与硅片之间的空间，浸入特殊液体中。

　　由于液体折射率大于1，能够使193纳米波长光源缩短至134纳米，从而实现更高分辨率。

　　也顺带，将光刻工艺节点从45纳米推进到14纳米10纳米。

　　“但是……”该负责人话锋一转：

　　“同样的方法，157纳米波光光源叠加浸入技术后，无法降低波长。”

　　“所以，进入euv阶段，就需要更为复杂的技术和手段来实现极紫外光源。”

　　启尔电机负责人介绍完，科益虹源企业负责人接着说：

　　“对，进入euv研发阶段，目前的主流方法，是用准分子激光器照射锡球靶材，获取极紫外光源。”

　　“要做到这一步，需要时间，难度不小。”

　　难度有多大？

　　非常大。

　　要产生13.5纳米波长的极紫外光源，需要用高功率准分子激发器，以每秒5万次的频率，不断击中一个正在高速运动中的小锡球。

　　让小锡球温度上升至50万度，变成等离子体，从而产生极紫外光。

　　这个小锡球大小为三千万之一米，运动速度为321公里/小时。

　　“目前，能够提供这种激光器的公司，全球只有一家，德国的通快公司。”

　　“但是通快公司也不能独立提供，需要北美cymer公司合作和技术授权。”

　　“此外，还需要立陶宛一家公司提供关键器材。这家立陶宛公司背后又是北美技术授权……”

　　“所以，在技术方面，我们得不到任何借鉴和支持，还是需要想办法绕开专利限制，慢慢探索。”

　　光源只是关键困难之一。

　　国望光学负责人接着说：

　　“我们负责物镜系统研发，但是，同样需要时间来探索和积累。”

　　euv物镜需要理论上的绝对平滑平整。

　　镜片起伏只允许一个原子的误差。

　　这是理论物理的极限。

　　通俗讲，就是把镜片放大到鲁省大小。

　　一个病毒落在镜片上，就像拔地而起的高山。

　　国望光学负责人说完，华卓精科负责人自信说道：

　　“我们公司负责工作台，正在集中攻坚，应该在不久的将来，可以达成既定目标要求。”

　　工作台是干什么的？

　　相当于刻刀。

　　在指甲盖大小的硅片上，刻画出几百亿个晶体管。

　　这需要极高精度。

　　当然，全球也没有任何一个国家能够独立制造。

　　需要日韩北美德国等诸多国家的专利支持和技术协同。